濺鍍產品—濺鍍源
TFC濺鍍源，歐洲第一品牌
尺寸齊全：
- HV濺鍍源尺寸：2”，3”，4”，6”，8”，10”，12”
- UHV濺鍍源尺寸：1”，2”，3”，4”，5”，6”，8”，10”，12”
適合各種應用：
- 磁性研究，光學膜研究，硬化膜，HIPIMS應用，光電研究，薄膜太陽能電池，熱電應用，高熵合金
配件齊全
- 煙囪罩( Chimney )：讓電漿集中
- 角度調節器 ( tilt )：可以做多槍同區域共濺鍍與多腔多區域濺鍍
- 氣體分配配件 ( Gas distribution )：使電漿更均勻，集中。
- 擋板 ( shutter )：控制膜厚，膜品質均一。
- 快速接頭 (Quick coupling feedtrough )：快速接頭安裝與固定濺鍍源。
- Z操縱器 (Z-Manipulator )：可在不破真空環境下，調整濺鍍源和基板距離，確保薄膜品質均一。
- 法蘭套組( Flange mounting )：群集式法蘭套組，方便保養和檢修。
濺鍍產品
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濺鍍源
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射頻電源
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直流電源
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微波電源
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微波電漿源
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電漿光譜儀 |
流量計
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離子源
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濺鍍靶材與耗材
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業務專員：洪先生 Sung 手機：0958-923-545 E-mail：sung@junsun.com.tw Line：sung1060426 WeChat：sungcomtw
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