提供的服務範圍在於真空系統、真空系統相關的零組件、耗材、材料、相關加工管件。服務範圍簡述如下：
真空系統類別
蒸鍍系統
l 簡介：
n 利用熱蒸鍍方式，做鍍膜製程。
l 應用：
n 有機發光體( OLED )：適用於有機材料鍍膜，可長電子注入層、電洞注入層、金屬電極。
n 有機太陽能電池 ( OPV )：適用於有機材料鍍膜，可長電子注入層、電洞注入層、金屬電極。
n CIGS、CZTS太陽能電池：適用於光電層鍍膜，可鍍Cu、In、Ga、Zn、Sn膜
濺鍍系統簡介
l 簡介
n 利用濺鍍源方式，將材料濺鍍在樣品上。
l 應用：
n CIGS、CZTS太陽能電池：適用於光電層鍍膜，可鍍Cu、In、Ga、Zn、Sn膜
n 磁性材料製程：可鍍Fe、Co、Ni磁性材料膜。
n 硬化膜：可鍍TiN、Cr等硬化膜，可適用於模具、鑽頭。
n 氧化物：搭配氧流量計(O2 MFC)、電漿光譜儀(PEM)，可以做氧製程，做光學層鍍膜、反應性鍍膜。
分子束磊晶系統
l 簡介：
n 利用蒸發源(K-cell)、電漿源(plasma source)、裂解器(cracker)將材料蒸鍍在基板上之製程。整個製程環境是在超高真空下做磊晶製程。
l 應用
n 光電元件製作
n 微波元件製作
n 氮製程，可以長GaN。
n 氧製程，可長Al2O3、TiO…等各式氧化物，可以做光學研究與應用。
n LED
n 石墨烯
n 奈米碳管
原子層沉積系統
l 簡介
n 利用類似CVD方式，將材料沉積在樣品基板上，是一層原子一層原子長膜，因此膜厚均勻性可以在1%以內。
l 應用：
l 高介質製程(HK)
l 光學薄膜製程，可長Al2O3、ZnO。
l 石墨烯
l OLED的薄膜封裝製程，可以阻隔水氧。
l 生物感知器(biosensor)、感知器(sensor)
l 觸媒(catalase)
微波系統
l 簡介
n 利用微波電源，產生電漿，將材料鍍膜在樣品上。也可以利用微波電源，產生高熱，做加熱製程。
l 應用
l PECVD製程
l 鑽石膜製程
l 類鑽膜製程(DLC)
l 高週波加熱設備
真空系統相關設備與儀器
真空系統共同設備與耗材
l 抽氣設備
n 低真空幫浦
n 高真空幫浦
l 真空量測設備
n 低真空計
n 高真空計
l 腔體成分分析設備
l 相關耗材
n 低真空幫浦油
n 高真空幫浦油
蒸鍍系統相關設備與耗材
l 膜厚計
l 石英振盪片
l 鎢舟
l 坩堝
l 直流電源供應器
l 交流電源供應器
l 溫控器
濺鍍系統相關設備與耗材
l 濺鍍源
l 直流電源供應器
l 射頻電源供應器
l 脈衝直流電源供應器
l 微波電源供應器
l 流量計
分子束磊晶系統相關設備與耗材
l 蒸發源 ( K-cell )
l 坩堝 ( Crucible )
l 電漿源 ( plasma source )
l 裂解器 ( cracker )
l 電源供應器 ( power supply )
l 溫度膜厚監視器 ( IS4K )
l 鍍率監視器 ( IS6K )
l CL
l RHEED
原子層沉積系統
l 膜厚計è本公司提供ALD專用之膜厚計。
微波系統
l 微波電源
l 導波管
l EH tuner
l 3 channels tuner
相關耗材與材料
腔體與加工管件
l 腔體製作
l 閘閥
l 各式閥門
l 各式接頭
l 加工管件
l 樣品基座
如需更多資訊與服務，聯絡方式如下：
聯絡人：洪先生
手機：0958-923-545 E-mail：sung@junsun.com.tw
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